la serie è un amplificatore di alimentazione ad alta tensione per mandrini elettrostatici. Oltre alla commutazione di polarità e alla messa a terra forzata, la serie offre il sistema di monitoraggio dei wafer per soddisfare le esigenze di rilevamento dei wafer.
Inoltre, con l'ampia gamma di tensioni, questa serie può supportare sia mandrini elettrostatici coulombici che Johnsen-Rahbek.
Caratteristiche e benefici
Affidabilità della rilevazione dello stato del mandrino/rilascio grazie al sensore del wafer
Risposta veloce grazie al design dell'architettura dell'amplificatore (alta affidabilità e lunga durata grazie al design "non-relay polarity reverse")
"Controllo indipendente a due canali (opzione)" e "Impostazione della tensione centrale (opzione)" per varie operazioni di mandrino/rilascio
Dotato di interfaccia digitale di LAN, USB, RS-232C
Costruito nel filtro RF passa basso (13,56 MHz)
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