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Alimentatore elettrico da tavolo HECD series
AC/DCa commutazionedigitale

Alimentatore elettrico da tavolo - HECD series - Matsusada - AC/DC / a commutazione / digitale
Alimentatore elettrico da tavolo - HECD series - Matsusada - AC/DC / a commutazione / digitale
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Caratteristiche

Montaggio / formato
da tavolo
Tipo
AC/DC
Tecnologia
a commutazione
Altre caratteristiche
digitale
Tensione di ingresso

Max.: 240 V

Min.: 100 V

Tensione di uscita

Max.: 5 kV

Min.: -5 kV

Corrente

1 mA, 2 mA, 3 mA, 10 mA

Descrizione

la serie è un amplificatore di alimentazione ad alta tensione per mandrini elettrostatici. Oltre alla commutazione di polarità e alla messa a terra forzata, la serie offre il sistema di monitoraggio dei wafer per soddisfare le esigenze di rilevamento dei wafer. Inoltre, con l'ampia gamma di tensioni, questa serie può supportare sia mandrini elettrostatici coulombici che Johnsen-Rahbek. Caratteristiche e benefici Affidabilità della rilevazione dello stato del mandrino/rilascio grazie al sensore del wafer Risposta veloce grazie al design dell'architettura dell'amplificatore (alta affidabilità e lunga durata grazie al design "non-relay polarity reverse") "Controllo indipendente a due canali (opzione)" e "Impostazione della tensione centrale (opzione)" per varie operazioni di mandrino/rilascio Dotato di interfaccia digitale di LAN, USB, RS-232C Costruito nel filtro RF passa basso (13,56 MHz)

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