I filtri di profondità della serie CMPro-M di Membrane Solutions sono progettati appositamente per la filtrazione di fanghi sfusi per il sistema SDS (slurry delivery system). Realizzati con una struttura composita in polipropilene con un design unico a densità graduata che consente di affrontare le sfide della filtrazione CMP. Grazie ai pori affusolati, il CMPro-M raggiunge un ottimo equilibrio tra un'eccellente efficienza di ritenzione degli agglomerati e un'elevata capacità di contaminazione. È in grado di rimuovere efficacemente solo le particelle dirompenti dal fango CMP e la distribuzione granulometrica (PSD) delle particelle valide del fango non cambia dopo la filtrazione. CMPro-M è in grado di soddisfare varie applicazioni CMP in situazioni diverse, tra cui CMP di ossidi, STI CMP e CMP di metalli.
Caratteristiche
La struttura del filtro graduata garantisce un'elevata efficienza di filtrazione.
Le curve di efficienza ripide possono migliorare significativamente il tasso di filtrazione delle particelle sovradimensionate, riducendo al minimo la filtrazione delle particelle valide.
Durata ottimizzata e costi ridotti.
Basso livello di estraibilità grazie all'assenza di tensioattivi e leganti.
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