Sensore di portata MEMS MSH01

al siliciovolumetricomassico

Il sensore di flusso a nucleo sensibile si basa sul principio del trasferimento di calore. La struttura del sensore è costituita da una sorgente di microcalore situata sul film sensibile, da un sensore di temperatura a monte e da un sensore di temperatura a valle simmetrici rispetto alla sorgente di microcalore e da un sensore di temperatura ambiente situato sulla base di silicio. In assenza di flusso di fluido sulla superficie del sensore, il campo di temperatura attorno alla sorgente di microcalore è distribuito simmetricamente, come in (a); in presenza di flusso di fluido sulla superficie del sensore, il campo di temperatura attorno alla sorgente di microcalore è disturbato dall'effetto di raffreddamento del fluido sulla sorgente di microcalore e il campo di temperatura a monte e a valle della sorgente di microcalore è distribuito asimmetricamente, come in Fig. (b). (b); maggiore è la velocità del flusso del fluido, maggiore è la portata del gas trasportato dalla sorgente di microcalore e l'asimmetria è maggiore. La velocità di flusso del fluido si ottiene dalla differenza di temperatura tra i sensori di temperatura a monte e a valle. - Ampio rapporto di gamma>300:1 - Tempo di risposta rapido<5ms - Flusso di avvio bassissimo <0,05m/s - Elevata sensibilità e precisione Precisione di lettura superiore a +/-3% - Parti non mobili, alta affidabilità - Adatto per gas e liquidi puliti - Apparecchiature mediche respiratorie e diagnostiche - Controllo delle celle a combustibile - Misuratore di portata d'aria per autoveicoli - Apparecchiature per gas domestici - Analizzatore di gas e cromatografia liquida a spettrometria di massa - HVAC - Rilevatore di perdite - Automazione industriale