L'efficiente emettitore all'infrarosso JSIR340-4 è ottimizzato per l'analisi NDIR dei gas e per altre applicazioni di misurazione all'infrarosso come la spettroscopia DIR, la spettroscopia ATR o la spettroscopia PAS. La membrana dell'emettitore IR basato su cmOS raggiunge temperature di membrana fino a 800 °C. Fornisce un'emissione di radiazioni stabile a lungo termine per applicazioni industriali per il controllo e il monitoraggio di gas di processo e gas associati a temperature ambiente comprese tra -20 e 85 °C. La versione in confezione standard TO con cappuccio è adatta a distanze di misura fino a 2 cm.
Il chip MEMS utilizzato nei nostri emettitori IR consiste in un diaframma multistrato a piastra calda contenente uno strato C-MOSI metallico stabile alle alte temperature. Il chip emettitore ha un'area attiva di 2,2 x 2,2 mm2 ed è basato su un substrato di silicio con una membrana back-etched. Tutti i processi del film sottile sono stati eseguiti utilizzando processi MEMS standard e materiali compatibili con i cmOS. Lo strato resistivo attivo C-MOSI è protetto dall'invecchiamento e dall'ambiente.
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