Il SEMOZON® AX8410 PRIME è il prodotto iniziale della nuova generazione della piattaforma MKS di generatori di ozono compatto, ad alta concentrazione, ad alta portata e ultra pulito. È dotato di una cella di nuova concezione e di una struttura di potenza per ottenere il doppio della produzione di ozono dei modelli precedenti con un'impronta simile.
SEMOZON® AX8410 PRIME converte l'ossigeno in ozono attraverso una silenziosa scarica elettrica. Il suo nuovo design brevettato della cella supporta nuovi requisiti di processo che richiedono concentrazioni di ozono più elevate a portate fino a 80 slm. L'aumento della portata e la maggiore concentrazione posizionano il generatore AX8410 PRIME per soddisfare i requisiti di ozono per la prossima generazione di processi a semiconduttori.
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