Regolatore di portata termico di portata massica P2 MFC

per gas corrosivodigitale

Il PFC-60 ΠMFC, fabbricato dagli strumenti di MKS, è un regolatore termico digitale di portata in peso usato particolarmente per i gas corrosivi. Il dispositivo consiste del miglioramento nella tecnologia in termini di funzionalità e prestazione. Guidano gli utilizzatori in semiconduttore e nelle applicazioni di sottili pellicole di elevata purezza. Il controllo di flusso del dispositivo è insensibile alle dispersioni verso l'alto ed a valle. Il controllo in tempo reale del flusso del gas e della relativa esattezza è migliorato. Hanno migliore alloggiamento corrispondere che i MFCS digitali basati PID. Il sensore di pressione e l'esposizione di LED è unito per diminuire le componenti state necessarie in un bastone del gas. La messa a punto e l'analisi guasti dei MFC in situ è dovuto l'interfaccia del browser basata fotoricettore.