La piattaforma per motori lineari della serie E-EC-ABL-X adotta il metodo della guida a cuscinetto d'aria combinata con il motore lineare a nucleo di ferro, che presenta una rettilineità e una planarità ineguagliate dalle guide meccaniche tradizionali ed è particolarmente adatta per le piccole distanze di passo o per gli scenari applicativi di posizionamento ultraprecisi. È una scelta applicativa eccellente per il debug ottico di precisione, l'installazione e la lavorazione.
la guida lineare a cuscinetto d'aria ha una planarità e una rettilineità molto buone
il motore lineare con nucleo in ferro garantisce una sufficiente rigidità del sistema e prestazioni dinamiche
funzionamento silenzioso e stabile con rumorosità estremamente ridotta
ha un livello di precisione molto elevato
ideale per applicazioni di scansione o posizionamento ad alta precisione
compatibile con le camere bianche
dimensioni della piattaforma di movimento 210 mm × 100 mm
gamme di corsa da 200 mm a 500 mm
risoluzione fino a 100 nm o 1 nm
Gli stadi sono dotati di un motore lineare servoazionato con cuscinetti ad aria precaricati ed encoder lineare integrato. La combinazione di questi componenti senza contatto si traduce in una piattaforma di movimento senza attrito che offre le massime prestazioni, qualità e durata.
Un motore lineare ad alta forza può portare lo stage alla massima velocità in pochi millisecondi e i cuscinetti ad alta capacità possono supportare carichi fino a 10 kg. Il design a cuscinetti d'aria contrapposti lateralmente e precaricati attivamente di questo modello consente il montaggio con qualsiasi orientamento.
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