Navitar ha risposto alla crescente esigenza di estendere ulteriormente i limiti di risoluzione delle ispezioni ottiche sviluppando la lente NanoVue 248nm 4X Deep UV Zoom. Il sistema ottico NanoVue opera nella luce ultravioletta profonda (DUV) consentendo il rilevamento e la caratterizzazione di difetti critici per la resa e raddoppiando di fatto il limite di risoluzione dei microscopi convenzionali a luce visibile.
- Sensibilità di ispezione di 90 nm.
- Gamma di zoom da 75X a 300X se abbinato all'obiettivo 100X.
- FOV da 0,15 a 0,037 mm con sensore di formato 2/3" e obiettivo 100X.
- Ispezione ottica a meno di 0,1 um utilizzando obiettivi Deep UV.
- L'unica soluzione di zoom UV profondo del settore.
L'obiettivo NanoVue Zoom è ideale per lo sviluppo di nuovi prodotti OEM e per l'integrazione in strumenti DUV che richiedono una maggiore produttività, consentendo ai clienti di sviluppare rapidamente strumenti automatizzati nuovi e flessibili, ricchi di funzioni, dal costo inferiore e con ingombri ridotti.
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