Sistema di monitoraggio di concentrazione Q-MACS MCdi processodi misuraottico
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Caratteristiche
- Tipo
- di concentrazione
- Applicazioni
- di misura, di processo
- Tecnologia
- a infrarossi, ottico
- Configurazione
- portatile
- Altre caratteristiche
- in linea
Descrizione
Il Q-MACS Process MC è un sistema di monitoraggio portatile per la misurazione online in situ di processi industriali come l'incisione, la deposizione e la nitrurazione al plasma. Si basa sulla collaudata tecnologia Q-MACS Basic. Questo sistema di misurazione in situ utilizza la spettroscopia di assorbimento a infrarossi per misurare le concentrazioni molecolari assolute all'interno della camera di processo. Il collegamento ottico al reattore di processo avviene tramite flange da vuoto standard.
Sistema con percorso ottico chiuso
Equipaggiato con 1-4 laser
Sensibilità fino a ppb
Risoluzione temporale fino a millisecondi
Il Q-MACS Process MC comprende tutte le apparecchiature e il software necessari per il funzionamento del sistema.
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Cataloghi
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.