L'intensità di luce UV del modello 458 & il sistema energetico su microelaboratore profila esattamente l'energia dell'esposizione (dose) per valutare la prestazione del passo passo. È progettata per uso con il ASML ad alta intensità, Canon, Nikon e gli Steppers ad alta intensità del wafer di Ultratech. Legge l'intensità, l'energia ed il tempo (un ² di 4000 mW/cm, un ² di 999,9 mJ/cm) per 365, 400, 420 e 436 lunghezze d'onda di nanometro. Cavo facoltativo RS232 disponibile lavorare con il software 458 per inviare i dati della dose ad un computer.APPLICATION
Perfezioni per un'ampia varietà di industrie dove la misura di precisione di energia UV è essenziale, i 458 di modello è progettato per tutta l'applicazione che richiede la misura UV ripetibile e affidabile.
CARATTERISTICHE DI HARDWARE
Medie fino a 9 esposizioni
Il visualizzatore digitale fornisce chiaro, misure imputabili del NIST
Misura l'intensità, il tempo e l'energia
Di deviazione delle annotazioni % sopra una serie di esposizioni
Aiuti dell'esposizione di lunghezza d'onda della sonda impedire gli errori nella messa a punto
L'operazione semplice del pulsante fornisce i risultati affidabili
Uscita di RS 232 da scaricare e risultati record di misura dell'analizzatore
Sonde staccabili per abbinare la risposta spettrale di molti photoresists
Le letture dell'esposizione possono essere congelate
I ricordi del pannello frontale richiamano l'utente
Maniglia delle caratteristiche di caso e sacchetto di alluminio irregolari della sonda per portabilità
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