La barra portante ad aria OAV è prodotta con un design profilato per facilitare il retrofit in applicazioni esistenti o la progettazione di nuove applicazioni. Genera un film di gas uniformemente distribuito tra la superficie e il substrato. Grazie alla bassa viscosità del gas, le perdite per attrito dovute al taglio viscoso consentono di evitare il contatto meccanico. La combinazione di pressione dell'aria e vuoto consente alla barra portante di trattenere il substrato e contemporaneamente di sollevarlo dalla superficie per ottenere la massima precisione e altezza di volo. La gamma di altezze di volo da 20 a 120 μm mantiene una stabilità di ±5 μm.
Dimensioni - barra d'aria OAV da 1250 mm
Pressione di ingresso - 20,0 psi (137 kPa)
Pressione massima in ingresso - 40,0 psi (137 kPa) Pressione di ingresso - 40,0 psi (275,7 kPa)
Altezza di volo - 80 micron (0,0032 in)
Intervallo di altezza di volo - 20 - 120 micron (0,0008 - 0,0047 in)
Rigidità - 0,04 N/micron
Stabilità in altezza - ±5 micron
Portata - 0,63 SCFM
Flusso del vuoto - 0,43 SCFM
Larghezza della barra dell'aria del cuscinetto OAV - 60 mm
Altezza della barra dell'aria del cuscinetto OAV - 57 mm
Lunghezza della barra dell'aria del cuscinetto OAV - 1250 mm
Materiale/finitura dell'alloggiamento - Lega di alluminio A6N01SS-T5 / anodizzazione blu
Materiale dei supporti porosi - Carbonio
Planarità - 0,025 mm (0,001 in)
Peso - 2,13 kg (4,7 libbre)
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