Pompa a vuoto turbomolecolare ATH 1600 M series
senza oliomonostadio

Pompa a vuoto turbomolecolare - ATH 1600 M series - Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions - senza olio / monostadio
Pompa a vuoto turbomolecolare - ATH 1600 M series - Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions - senza olio / monostadio
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Caratteristiche

Tecnologia
turbomolecolare
Lubrificazione
senza olio
Numero di stadi
monostadio
Portata

Min.: 0 l/s
(0 us gal/s)

Max.: 1.400 l/s
(369,84 us gal/s)

Descrizione

Turbopompa a 5 assi a levitazione magnetica con stadio di trascinamento per una velocità della pompa fino a 1400 l/s per N2 Descrizione del prodotto - Funzionamento con elettronica di azionamento OBC integrata o elettronica di azionamento esterna Magpower - Installazione in qualsiasi orientamento - Raffreddamento ad acqua - Marcatura CE e conformità ROHS - Versione riscaldata (MT) disponibile per applicazioni corrosive. - ATH-M è una pompa turbomolecolare compatta di riferimento mondiale nell'industria dei semiconduttori e dei rivestimenti. Base di installazione di grandi dimensioni in tutto il mondo in processi da leggeri a difficili per flange DN200 e DN250.

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