Le pompe a secco della serie A3P riducono i costi di esercizio
Tecnologia avanzata ad alta efficienza energetica per processi di media durata
Con le pompe della serie A3P, Pfeiffer Vacuum offre una serie di pompe di tre modelli, che si distinguono per i costi di esercizio drasticamente ridotti. Rispetto alle precedenti tecnologie di pompaggio, sono possibili risparmi energetici fino al 50%. Le pompe integrano le più moderne conoscenze per l'idoneità al processo. Inoltre, grazie alla loro struttura compatta, consentono un risparmio di spazio fino al 50% rispetto alle pompe precedenti.
Vantaggi
- Bassi costi di esercizio
- Ingombro ridotto
- Peso leggero per un montaggio più semplice
- Elevata affidabilità in applicazioni di medio impiego
- Compatibile con i requisiti per la produzione di semiconduttori
Applicazioni
- Industria dei semiconduttori (incisione, impianto, PVD, ...)
- Fotovoltaico
Pompe a secco per l'industria dei semiconduttori
Le pompe a secco della serie A3P si basano sulla collaudata tecnologia Roots a più stadi. L'interno delle pompe è resistente ai gas corrosivi. Per questo motivo, le pompe hanno un'elevata affidabilità nei processi di medio impiego. I tre modelli disponibili della serie offrono un ampio spettro di velocità di pompaggio e quindi coprono la maggior parte dei requisiti per le pompe per vuoto di media portata nell'industria dei semiconduttori. La serie A3P è adatta al funzionamento in camera bianca ed è conforme alle norme CE e Semi S2.
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