Sistema di monitoraggio per camera bianca APA 302
ambientale

sistema di monitoraggio per camera bianca
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Caratteristiche

Applicazioni
per camera bianca, ambientale

Descrizione

L'APA 302 è uno strumento di monitoraggio in linea unico nel suo genere per la produzione avanzata di chip in camera bianca. Questa innovativa apparecchiatura misura la contaminazione molecolare nell'aria (in breve AMC) in un FOUP e nell'ambiente circostante. La misurazione avviene in tempo reale con un'alta sensibilità nel range ppbv. Monitoraggio efficiente della contaminazione L'umidità e la contaminazione molecolare aerodispersa (AMC), come il fluoruro di idrogeno (HF), vengono rilasciate nello slot-to-slot delle FOUP durante i tempi di coda. Questi elementi possono generare la crescita di cristalli su wafer modellati che porta alla perdita di rendimento e al degrado delle prestazioni. L'APA 302 della Pfeiffer Vacuum sta campionando l'AMC attraverso i filtri FOUP. La misura avviene in 2 mn con un'alta sensibilità nel range ppb attraverso la spettroscopia della mobilità ionica, la rilevazione della ionizzazione della fiamma, la fluorescenza UV o la spettroscopia anulare in cavità. Quando non c'è FOUP sulle porte di carico, l'APA 302 monitora l'ambiente circostante della camera bianca. Analisi affidabile dell'ambiente FOUP Al fine di garantire le prestazioni, il SEMI S2/S8 conforme APA 302 è dotato di una funzione di autocalibrazione, che viene attivata ad intervalli regolari. Il monitoraggio dell'AMC all'interno dell'APA può essere eseguito in POD con o senza wafer. I FOUP possono essere consegnati sia manualmente che tramite trasporto con paranco a soffitto (OHT) sulle 2 porte di carico. In questo modo, i tempi di coda tra le singole fasi del processo possono essere ottimizzati, l'aumento dei valori di contaminazione viene immediatamente riconosciuto e le rese aumentano.

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Fiere

Fiere a cui parteciperà questo venditore

analytica 2024
analytica 2024

9-12 apr 2024 München (Germania)

  • Maggiori informazioni
    36th Control 2024
    36th Control 2024

    23-26 apr 2024 Stuttgart (Germania) Hall 8 - Stand 8312

  • Maggiori informazioni
    * I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.