Sistema di imaging molecolare

Sistemi di telecamere sottovuoto UV / EUV e In Vacuum camera systems Le telecamere EUV e VUV offrono un'alta risoluzione, un'elevata gamma dinamica e una buona risoluzione temporale. Le telecamere EUV e VUV forniscono un'alta risoluzione (tipicamente inferiore a 10 micron), un'elevata gamma dinamica (da 12 a 16 bit) e una buona risoluzione temporale (fino a microsecondi), necessarie per le moderne sorgenti EUV a scarica al plasma pulsato. La fotocamera può acquisire immagini a scatto singolo o sincronizzate a scatto multiplo fino a 13 fps a piena risoluzione da una sorgente EUV nativa senza soffrire di artefatti emorragici. Sono disponibili versioni flangiate e/o in vuoto a seconda della flessibilità richiesta per la caratterizzazione e l'ispezione della maschera grezza/resistenza/sorgente/ottica. La risposta della sensibilità può essere estesa da 13,5nm fino a 0,0135nm se la fotocamera viene utilizzata per rilevare più linee caratteristiche. Il raffreddamento profondo consente una corrente scura molto bassa fino a meno di 0,005 elettroni/pixel/sec per un'esposizione prolungata nel caso in cui un segnale molto debole richieda lunghi periodi di integrazione.