Lancio di un nuovo prodotto: GasPro ™ TEM-2260 Filtro in linea PTFE 316L ad alto flusso
I filtri della serie GasPro ™ TEM-2260 sono specificamente progettati per la filtrazione dei gas semiconduttori quando sono richieste portate elevatissime. Questo gruppo interamente saldato fornirà una ritenzione delle particelle di 0,003 micron dove è richiesta una portata elevata e lo spazio è limitato.
Una membrana in PTFE e una cartuccia supportata in polipropilene sono racchiuse in un alloggiamento saldato elettrolucidato in acciaio inossidabile 316L. L'assemblaggio finale è spurgato con azoto filtrato per la pulizia iniziale.
Le applicazioni includono:
- Gas inerti generali e di processo.
- Aria secca e pulita (CDA*) per processi critici tra cui la pulizia FOUP (Front Opening Unified Pod) e la fotolitografia.
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