Analizzatore di ossigeno EXTREL™ VeraSpec™ APIMS

di COCH4d'acqua

Il nostro spettrometro di massa a ionizzazione a pressione atmosferica EXTREL™ VeraSpec™ (APIMS) è progettato per limiti di rilevamento affidabili e ripetibili a basse parti per trilione per il controllo della contaminazione nei gas di altissima purezza (UHP) utilizzati nei semiconduttori e in altre applicazioni industriali ad alta tecnologia. La contaminazione è costosa e da oltre 20 anni l'APIMS è lo standard industriale e di ricerca per il rilevamento in linea dei componenti di basso livello delle miscele di gas. Il nostro APIMS VeraSpec utilizza un filtro di massa quadrupolo da 19 mm a tre filtri per l'analisi dei gas dei semiconduttori per ottenere le migliori prestazioni, affidabilità e tempi di attività. Limiti di rilevamento inferiori (LDL) migliori del settore per l'analisi di gas sfusi Monitoraggio in tempo reale e multispecie di TUTTE le impurità critiche nei gas sfusi, comprese tracce di O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, Xe e altro ancora Tecnologia di spettrometria di massa potente e consolidata Intervallo di misura senza precedenti, da PPT al 100%, grazie all'esclusiva configurazione di ionizzazione a doppia sorgente I produttori di semiconduttori devono essere in grado di verificare continuamente la purezza dei gas di processo in tempo reale e di rilevare tracce di contaminazione a concentrazioni dell'ordine delle parti per trilione (ppt). Monitorate un'ampia gamma di gas e miscele di gas con la stabilità che garantisce la ripetibilità a lungo termine richiesta dalla maggior parte delle applicazioni. Chiedete informazioni sul nostro APIMS SX5 con funzionalità di Stream Switcher.