Generatore di corrente Bias

di tensioneRF

Generatore di forme d'onda di polarizzazione su misura per sistemi al plasma RF Prodrive Technologies presenta il suo dirompente generatore di forme d'onda di polarizzazione su misura per fornire un controllo diretto della distribuzione dell'energia degli ioni della guaina nella lavorazione del plasma. L'uscita della forma d'onda personalizzata offre un controllo indipendente su corrente e tensione e viene misurata in tempo reale. Questo controllo diretto dell'energia degli ioni della guaina migliora notevolmente il controllo e la precisione dei processi di incisione e deposizione rispetto alla polarizzazione RF convenzionale, consentendo la personalizzazione della distribuzione dell'energia ionica per consentire distribuzioni molto strette e l'eliminazione delle code. Ciò si traduce in una velocità di processo ottimizzata e nella massima selettività per gli elementi sensibili. Inoltre, riduce il consumo energetico del biasing, aumentando l'efficienza del sistema rispetto alle tecnologie convenzionali. -Distribuzione stretta dell'energia ionica con eliminazione della coda -Massimo controllo delle condizioni di bias con monitoraggio della forma d'onda in tempo reale -Rapida integrazione con i sistemi RF convenzionali -Autotuning proprietario della forma d'onda Video di polarizzazione del generatore di plasma Questo video mostra schematicamente come funziona il biasing della forma d'onda su misura.