Spettrometro di massa AZX400

XRFWDXRFper R&S

La tecnica Wavelength-Dispersive (WD) XRF consente l'analisi elementare (composizione e spessore del film) ad alta risoluzione energetica. Il Rigaku AZX 400 è uno spettrometro sequenziale WDXRF specificamente progettato per gestire campioni molto grandi e/o pesanti. Accettando campioni fino a 400 mm di diametro, 50 mm di spessore e 30 kg di massa, l'AZX 400 è ideale per l'analisi di bersagli sputtering, dischi magnetici o per la metrologia con film multistrato su wafer di Si. L'AZX 400 è un sistema di ricerca e sviluppo ideale che offre la più ampia gamma di flessibilità analitica che copre la gamma di elementi da Be a U con dimensioni spot fino a 0,5 mm di diametro per misure di uniformità (uniformità) a risoluzione spaziale. La videocamera opzionale e il sistema di illuminazione consentono di visualizzare il punto di misura specifico per applicazioni QC o FA. Il wafer autoloader opzionale consente di gestire wafer multipli da una cassetta aperta da 300 mm FOUP o 200 mm. Caratteristiche Analisi di campioni di grandi dimensioni fino a 400 mm (diametro), 50 mm (spessore), 30 kg (massa) Sistema flessibile di adattamento del campione con inserti (su ordinazione) Punto di misura diametro 30 mm - 0,5 mm con selezione automatica in 5 fasi La capacità di mappatura consente di verificare l'uniformità Uso generale: in grado di analizzare Be to U con WDXRF ad alta risoluzione e precisione Ampia gamma di composizione (da ppm a decine di punti percentuali) e spessore (da sub Å a mm) Il software guida l'utente attraverso la configurazione delle misure e dell'analisi Disponibile conformità SEMI S2 e S8 e marchio CE Ingombro ridotto: 50% dell'impronta del modello precedente