Sistema universale di imaging a raggi X a microfocus in linea
Tubo radiogeno: Rivelatore di raggi X a riflessione: FPD
Sistema di movimento: XYZθ Precisione di movimento: ±5 (±30 arcosec)
Risoluzione spaziale: 3μm (2D) Precisione di misurazione: 10μm
Parametri chiave: (1)Resolution
(Risoluzione: 3μm
(2)Tensione massima: 110kv
(3)Accuratezza di misurazione: 5μm+L/50
Principali aree di applicazione: (1)
(1)3Campo;
(2)semiconduttori;
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