Tester di circuito CP-5000

di portatadi attritodi temperatura

Tester CMP per la lucidatura controllata in R&S, lo sviluppo di processi efficaci e i test sui materiali di lucidatura sviluppo di processi efficaci e test sui materiali di lucidatura. Caratteristiche principali: Coefficiente di attrito in tempo reale Forza di discesa e velocità controllate Profilometro 3D integrato Possibilità di montare wafer di diverse dimensioni Temperatura ed emissione acustica in linea per studiare il processo Fate avanzare il vostro processo e lo sviluppo del prodotto con la nostra lucidatrice CMP R&D. Abbiamo ottimizzato lo sviluppo del prodotto fornendo diversi processi di lucidatura su un'unica piattaforma. Questi processi includono un'ampia gamma di velocità, il controllo della forza di gravità ad anello chiuso, supporti per wafer versatili e un sistema di erogazione automatica dello slurry. Inoltre, il tester CMP monitora diversi segnali in linea durante il processo di lucidatura. Oltre alla lucidatura di wafer e substrati, il tester è dotato di un profilometro di superficie in linea. Questa combinazione spiega come la superficie, l'attrito e l'usura superficiale sono cambiati e perché si verificano le imperfezioni. Caratteristiche Tecnologia e velocità delle celle di carico senza pari Durante il processo di lucidatura, le misure di forza in linea ad alta risoluzione quantificano le interazioni interfacciali. Per ottimizzare il processo, il CP-5000 offre un controllo completo della forza di abbassamento. Questo include la velocità e la portata in base a protocolli di prova personalizzati. Condizionatore per tamponi Supporto per condizionatore superiore autolivellante con rotazione attiva e oscillazioni orizzontali. Accoglie condizionatori da 0,5" a 4,25" Affidabile e preciso Ogni tester CMP è versatile e dispone di numerosi sensori e opzioni di temperatura. Lo stadio XY motorizzato è dotato di uno scambio rapido che fornisce facilmente dati significativi. Facilità d'uso Il CP-5000 è dotato di supporti Fast Exchange. Il risultato è un montaggio facile e veloce di wafer e pad.