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Purificatore di gas di azoto PS3-MT3 Series
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Caratteristiche
- Tipo di gas
- di azoto
Descrizione
La ricerca ha indicato che la purificazione del gas assicura la prestazione trattata costante e ripetibile per la fabbricazione del dispositivo a semiconduttore. Il punto di purificazione di uso isola i reparti di lavorazione critici dai sistemi di distribuzione del gas della casa e protegge dai ribaltamenti e dalla contaminazione trasversale della purezza del gas.
I purificatori di MonoTorr forniscono la purificazione essenziale per azoto e gas rari allo slpm fino a 5 di portate.
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