Purificatore di gas a pavimento PS5 Series

con filtroargon

I purificatori di gas raro di PS5 MegaTorr sono a purificatori basati a degasatore riscaldati destinati specificamente per fornire il gas ultraelevato dell'elio o dell'argon della purezza (UHP) per le applicazioni a semiconduttore. La lega brevettata del degasatore funziona alle temperature elevate per rimuovere le impurità formando i legami chimici irreversibili. Le impurità rimosse non saranno liberate in qualsiasi circostanza quando il purificatore è azionato all'interno della specificazione. I livelli di impurità dello sbocco per l'O2, H2O, il CO, la CO2, H2, CH4 (THC o idrocarburi totali) e N2 sono ridotti alle parti per miliardo concentrazioni. Questi purificatori sono destinati per durare gli anni multipli, ma la vita dipende dalle concentrazioni di impurità dell'entrata e dalla portata media. Contatti prego la fabbrica per i calcoli di vita. Una volta che la colonna è consumata può essere sostituita con una nuova colonna, per una nuova vita. A valle delle colonne riscaldate del degasatore, le impurità dell'idrogeno sono rimosse da una cartuccia secondaria brevettata del degasatore di temperatura ambiente, conosciuta come l'unità di rimozione dell'idrogeno (HRU).