Sistema di movimentazione automatico SYZ-VI-B

verticaleorizzontalecontinuo

Carico e scarico dei wafer integrato, scarico dei wafer dalla barca di quarzo alla cassetta o carico dei wafer dalla cassetta alla barca di quarzo. Disponibile per i doppi wafer back-to-back in una scanalatura che realizzano la diffusione del singolo lato o disponibile per il singolo wafer in una scanalatura per la diffusione del doppio lato. Con il loading& unloading continuo della cialda può garantire la produzione continua o essere usato soltanto per il caricamento o lo scarico della cialda è inoltre disponibile. - Con l'ascensore importato di sei-asse per caricare/scaricare ed assicura l'alta affidabilità della raccolta e della disposizione delle cialde; - Con IPC ha basato il software corrente del computer matrice in HMI, interazione ad alta velocità di dati può essere realizzato dalla comunicazione della rete. - Con le componenti precise di rilevazione per rilevare la posizione dinamica della barca del quarzo per rettificare il posizionamento. - Con il sistema di raffreddamento prima del processo di scarico, che può evitare qualsiasi effetto nocivo sulle cialde e sull'attrezzatura causata da temperatura elevata. - Il pettine, pinza adottare la tecnologia di elaborazione speciale che riducono notevolmente i segni sulle cialde - La cassetta può essere verticale o orizzontale, il cliente può scegliere flessibilmente secondo i propri bisogni - Funzione MES, rilevamento della resistenza del foglio e AGV, opzionale.