Sorgente di fasci di elettroni per microscopio elettronico a scansione SEM 20

La fonte dell'elettrone per SEM e la coclea sperimenta con il formato più meglio di 20 nanometro del punto 25 alla corrente del fascio del Na del fascio voltage/0.5 di chilovolt, ad una distanza di funzionamento di 25 millimetri. fonte termica dell'elettrone dell'emissione del campo di 1 - 25 KeV (emettitore) dello Schottky, Na corrente >100 del fascio massimo. Colonna di focalizzazione elettrostatica con il doppi sistema dell'obiettivo, quadrupoles di allineamento del fascio, piastre di soppressione del fascio e octopole per deviazione e lo stigmation. La corrente del fascio è continuamente registrabile da un'apertura di variabile dell'elettrone-ottico. La funzione corrente di misura del fascio interno soppressione su un'apertura della tazza del Faraday ha collegato ad un feedthrough di B. Valvola di isolamento pneumaticamente funzionata della colonna. Vuoto richiesto <1 x 10-8 di zona di fonte mbar. CF di nanowatt port di pompaggio 35 (2 ?OD) sul lato dell'alloggiamento di fonte. Bakeable a 180 CF di nanowatt 63 della flangia di supporto del C. (4? OD).