Sensore di flusso digitale ad alta precisione, configurabile e veloce per OEM
Specifiche tecniche
Flusso di massa
Portata del fondo scala - 1, 2 e 5 - slm -
Portata del fondo scala - 50, 100, 200 e 500 - sccm -
Accuratezza - 0,2%FS o 2% SP - -
Pressione massima di esercizio - 10 - bar -
Calibrazione - Flusso di aria, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 e C4F8
Porte dei connettori fluidici - Montaggio a valle - -
Generico
Tensione di alimentazione - 14 - 26,4 - V -
Corrente di alimentazione media - 50000 - uA -
Corrente di alimentazione massima - 320000 - uA -
Interfacce - RS485 - -
Dimensioni (LxLxA) - 34 x 25 x 62,2 - mm³
---