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Macchina per deposizione di film sottili
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Caratteristiche
- Tipo di deposito
- di film sottili
Descrizione
·Progettazione della pipeline a doppia fonte per una commutazione rapida.
·Controllo preciso della deposizione di film sottili a livello atomico.
·Progettazione modulare del pannello di distribuzione dell'aria, per una manutenzione agevole.
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