Sensore di portata massico FS8000 series

volumetricodi gasper il monitoraggio dei processi

I sensori forniscono la risposta più rapida a 1 msec e sono ideali per l'automazione, il controllo dei robot o altre applicazioni di strumentazione. Questa serie di sensori di portata massica è stata progettata con tempi di risposta rapidi per la misurazione della portata massica di gas, utilizzando la tecnologia elettronica di rilevamento e controllo MEMS di proprietà dell'azienda. Due applicazioni mirate sono le apparecchiature per semiconduttori e l'automazione. progettato per l'automazione di controllo tempo di risposta veloce fino a 1 msec capacità di commutazione rapida del flusso interfaccia analogica e digitale grande rapporto di turn-down oltre 100:1 ingombro ridotto Applicazioni *Automazione delle apparecchiature *Azioni robotiche *Rilevamento delle perdite *Strumentazione *Monitoraggio del processo con gas secco *Commutazione del flusso Campo di portata - 0 - 100... 500 0 - 2000... 6000 - sembra Precisione - ±(2.0+0.5FS) - % Rapporto di riduzione - > 100:1 Consumo di energia - £ 50,0 - mW Tempo di risposta - 5 msec tipico; fino a 1 personalizzabile - msec Pressione massima nominale - 0,5 - MPa Perdita di pressione massima - 900 (tipico) - Pa Temperatura - -10-55 - °C Alimentazione - 8 - 24 - Vdc Spostamento nullo - ± 30,0 - mV Coefficiente di temperatura ±0,12 %/°C Uscita - Lineare, l2C; Analogica 0,5 - 4,5 Vdc Connessione meccanica - M5 / Rc 1/8 in ingresso e M5 in uscita Peso - 12 / 21 g