I sensori forniscono la risposta più rapida a 1 msec e sono ideali per l'automazione, il controllo dei robot o altre applicazioni di strumentazione.
Questa serie di sensori di portata massica è stata progettata con tempi di risposta rapidi per la misurazione della portata massica di gas, utilizzando la tecnologia elettronica di rilevamento e controllo MEMS di proprietà dell'azienda. Due applicazioni mirate sono le apparecchiature per semiconduttori e l'automazione.
progettato per l'automazione di controllo
tempo di risposta veloce fino a 1 msec
capacità di commutazione rapida del flusso
interfaccia analogica e digitale
grande rapporto di turn-down oltre 100:1
ingombro ridotto
Applicazioni
*Automazione delle apparecchiature
*Azioni robotiche
*Rilevamento delle perdite
*Strumentazione
*Monitoraggio del processo con gas secco
*Commutazione del flusso
Campo di portata - 0 - 100... 500 0 - 2000... 6000 - sembra
Precisione - ±(2.0+0.5FS) - %
Rapporto di riduzione - > 100:1
Consumo di energia - £ 50,0 - mW
Tempo di risposta - 5 msec tipico; fino a 1 personalizzabile - msec
Pressione massima nominale - 0,5 - MPa
Perdita di pressione massima - 900 (tipico) - Pa
Temperatura - -10-55 - °C
Alimentazione - 8 - 24 - Vdc
Spostamento nullo - ± 30,0 - mV
Coefficiente di temperatura ±0,12 %/°C
Uscita - Lineare, l2C; Analogica 0,5 - 4,5 Vdc
Connessione meccanica - M5 / Rc 1/8 in ingresso e M5 in uscita
Peso - 12 / 21 g
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