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macchina per rivestimento
Falcon

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macchina per rivestimento macchina per rivestimento - Falcon
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Descrizione

Il sistema di lavaggio Falcon ICS 412 è in grado di erogare fino a 4 fluidi di processo (2 standard - cioè flusso, lavaggio a vasca) su wafer di dimensioni che vanno da 4 pollici a 12 pollici (300 mm). Non è richiesto alcun cambio utensile quando si passa da 6" a 12" dimensioni di wafer. Con un numero illimitato di fasi della ricetta, tutti i parametri di processo sono completamente programmabili, compresi l'inizio, la fine, lo sweep e l'altezza dell'erogazione. Il mandrino autocentrante è programmabile con velocità da 1 a 2000 giri/min. Il sistema di aspirazione del mandrino di rotazione include un serbatoio di raccolta del fluido per evitare la contaminazione del sistema di aspirazione. Il trasporto del nastro in linea completamente servocomandato non richiede regolazioni, non richiede alcuna regolazione, nessuna autoapprendimento del robot o regolazioni del sensore. La modalità diagnostica del software consente la manutenzione visiva di tutti gli ingressi, le uscite, i servomotori e gli encoder. La modalità ingegneristica consente modifiche di processo dirette e immediate in tempo reale. La protezione con password consente l'utilizzo a più livelli da parte dell'operatore.

I requisiti del sistema includono elettricità, vuoto, N2 e acqua. Per la configurazione delle rondelle è necessario uno scarico sotto vuoto ad alto volume. Le opzioni includono la capacità di lavaggio wafer e la capacità di trattare fino a 4 fluidi di cui 2 standard.

Traduzione automatica  (Visualizza il testo originale in inglese)