Sistema vibrometrico per microstrutture e MEMS
- misura di vibrazioni di alta precisione e senza contatto su micro-oggetti
- facilità di regolazione e manipolazione
- ampie opzioni di trigger
- Tavola X-Y 50 mm x 50 mm, altre opzioni su richiesta
- Obiettivo del microscopio 10x, 20x, 50x
- Diametro del punto 2 µm - 10 µm (a seconda dell'obiettivo)
- Possibilità di utilizzo OEM dell'unità vibrometrica
- interfacce aperte per software OEM in ambiente Windows e Linux
- Software FFT per l'analisi spettrale
Il Nano Vibration Analyzer NA è una combinazione di un vibrometro ad accoppiamento di fibre della serie LSV 120 NG con un microscopio tecnico. Il sistema è ideale per misurare il comportamento dinamico e la deflessione statica di microstrutture, MEMS e cantilever. A seconda dell'obiettivo utilizzato, è possibile ottenere una dimensione del punto di misura inferiore a 2 µm.
L'oggetto misurato può essere posizionato e scansionato in un ampio intervallo utilizzando uno stadio X-Y e può essere osservato attraverso una telecamera. L'obiettivo del microscopio è intercambiabile e definisce sia il campo visibile che il diametro dello spot laser. La risoluzione di spostamento raggiungibile dal vibrometro interferometrico laser è dell'ordine del picometro e si possono analizzare frequenze di vibrazione fino a 5 MHz.
Per l'acquisizione e la visualizzazione dei dati di misura viene offerto un software appositamente sviluppato. Oltre all'analisi in frequenza delle vibrazioni e alla registrazione delle misure, questo software consente di controllare la tavola X-Y e un generatore di frequenza esterno. Sequenze di misura più estese possono essere automatizzate tramite script.
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