Gli stadi di azionamento ibridi combinano i vantaggi degli stadi stick-slip a lunga escursione e degli scanner piezoelettrici ad alta risoluzione.
Come tutti gli stadi di azionamento ibridi di SmarAct, il DLS-5252 combina i vantaggi degli stadi stick-slip a lunga corsa con gli scanner piezo ad alta risoluzione. Il DLS-5252 è compatibile con il sistema modulare SmarAct, il che significa che lo stadio può essere facilmente montato sugli stadi CLS-52, stadi a rotazione equivalente e tutte le piastre di adattamento e gli elementi di collegamento. Lo stadio richiede solo un canale dell'MCS2 anche se è composto da due diverse unità di azionamento.
Meccanico
Campo di scansione [µm] > 35
Forza di blocco [N] > 3,5
Max. Forza normale [N] 5,0
Max. Forza di sollevamento [N] > 1,5
Peso [g] - 130
Dimensioni [mm] 52 x 52 x 15 (L x P x A)
Frequenza di risonanza (senza carico) [Hz] - > 350
Circuito chiuso
Risoluzione MCS2 [nm] - 1 (S)
Frequenza di taglio della scansione [Hz] - > 10
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