Sistema di posizionamento XYZ

lasercompatto

Il sistema di posizionamento XYZ tiene la testa del sensore e scansiona il raggio laser sul campione. Il sistema di posizionamento XYZ è utilizzato per posizionare il raggio della sonda dell'interferometro e per scansionarlo sulla regione di interesse. Il sistema di posizionamento è costruito intorno a tre posizionatori ad anello chiuso SmarAct racchiusi in un alloggiamento protettivo compatto. Ogni posizionatore ha un campo di scansione massimo di 20 mm e una ripetibilità di 50 nm. La testa del sensore è montata sul posizionatore più basso. Il sistema di posizionamento XYZ è montato su un perno di 25 mm di diametro in modo che la sua altezza sia facilmente regolabile per accogliere campioni di diverse dimensioni. È anche possibile rimuovere il sistema di posizionamento dal suo perno di montaggio per installarlo in un setup personalizzato o per combinarlo con un altro strumento.