Sonda ottica SP series

da laboratoriodi caratterizzazione elettrica

Grazie al suo sistema di movimento controllato ad anello chiuso, SMARPROBE consente un posizionamento con una ripetibilità e una stabilità senza pari, anche su scala nanometrica. Questo elimina la deriva, la correzione manuale e le congetture durante il sondaggio, rendendo le misure complesse più veloci, affidabili e altamente automatizzabili. Questo è il significato di anello chiuso ed è ciò che fa la differenza. SMARPROBE SP4 offre 4 manipolatori, mentre SP6 li porta a 6 e SP8 supporta fino a 8 manipolatori. Ogni sistema include uno stadio campione. Tutti i manipolatori hanno tre gradi di libertà e sono dotati di encoder ottici a risoluzione nanometrica per il rilevamento elettrico ad alta precisione. Le routine di posizionamento intelligenti implementate nel software di controllo dedicato, insieme alla possibilità di caricare fino a quattro stub di campioni SEM, massimizzano la facilità operativa e la produttività per qualsiasi attività di nanoprofilatura. Basato sul know-how di SmarAct nel nanoposizionamento piezoelettrico, il robusto design meccanico garantisce la massima stabilità e un funzionamento intuitivo. Tutti i sistemi SMARPROBE sono compatibili con un'ampia gamma di FIB, SEM e microscopi ottici, il che li rende una soluzione ideale sia per il retrofit dei flussi di lavoro esistenti che per l'integrazione in nuovi strumenti. I sistemi di tastatura SMARPROBE supportano tecniche di caratterizzazione elettrica che vanno dall'EBIC/EBAC a 2 contatti alle misure avanzate a 4 e 6 punti di tastatura, rendendoli uno strumento indispensabile per i laboratori di analisi dei guasti dei semiconduttori. Vantaggi principali: Funzionamento in semi-cieco nel SEM. Grazie al mantenimento attivo della posizione, alla bassa deriva termica e alla funzionalità Point&Click, il posizionamento della sonda può essere eseguito con un'esposizione minima al fascio elettronico,