Sonda ottica SP series

da laboratoriodi caratterizzazione elettrica

Il nostro sistema nanoproiettore standard con 4 o 8 manipolatori ad anello chiuso. Lo SMARPROBE SP4 è un sistema di ispezione con un massimo di 4 manipolatori, mentre lo SMARPROBE SP8 è dotato di un massimo di 8 manipolatori. Ognuno dei manipolatori ha 3 gradi di libertà ed è dotato di encoder ottici a risoluzione nanometrica per un'ispezione elettrica di alta precisione. Le routine di posizionamento intelligenti implementate nel software di controllo dedicato e la possibilità di caricare fino a quattro stub di campioni SEM aumentano la facilità di funzionamento e la produttività complessiva di qualsiasi attività di nano-probing. Il robusto design meccanico assicura la massima stabilità e facilità di funzionamento. I sistemi di ispezione sono compatibili con un'ampia varietà di FIB, SEM e microscopi ottici e sono quindi perfettamente adatti al retrofit di setup di ispezione esistenti e all'integrazione in nuovi strumenti. I sistemi di ispezione SMARPROBE consentono tecniche di caratterizzazione elettrica da EBIC/EBAC a 2 contatti fino a misure di ispezione a 4 e 6 punti, rendendo lo SMARPROBE uno strumento indispensabile per il vostro laboratorio di analisi dei guasti. Manipolatore con supporto per sonda - XYZ ad anello chiuso Numero di manipolatori - ≤ 4 / ≤ 8 Fase campione - XYZ ad anello chiuso Controllo - Point & Click, Joystick Area di ispezione [mm] - 25 x 25 Campo di scansione in XYZ1 [µm] - 3 Deriva termica2 [nm/min] - 1 - 10