Piastra di nanoposizionamento con encoder integrato METIRIO Readhead

Piastra di nanoposizionamento con encoder integrato - METIRIO Readhead - SmarAct GmbH
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Caratteristiche

Altre caratteristiche
con encoder integrato

Descrizione

La testina di lettura costituisce il cuore dell'encoder METIRIO® . Tutti i componenti ottici ed elettrici sono stati inseriti in un pacchetto flip-chip dall'ingombro molto ridotto. Specifiche tecniche Dimensioni compatte [mm] - 6,6 x 5,1 x 1,7 Basso consumo di corrente [mA] - 20 Risoluzione della posizione [nm] - 0,4 @ 20 mm/s Alta velocità [m/s] - 10 Lunghezza d'onda centrale [nm] - 850 (invisibile) Dati elettrici Tensione di alimentazione VDD [V] - Da 3 a 5,5 Segnale di posizione in uscita (sinusoidale) [Vpp] - 1 Segnale di riferimento in uscita (quadrato) [VDD] - RS485 Larghezza di banda (f3dB) [kHz] - 500 Suscettibilità ESD (HBM) [kV] - 4 su ciascun pin Tempo di avvio [µs] - 150 Interfaccia digitale - TWI Ambiente Compatibilità UHV [mbar] - HV (1E-6); UHV (1E-11) Temperatura massima di cottura [°C] - 160 Intervallo di temperatura operativa [°C] - 0 - 80 Umidità (40 °C) [ - 80 senza condensa Compatibilità della scala Tipo di reticolo - riflettente Passo della riga [µm] - 20 Tipo di riga - lineare, convessa, rotante (fino a 12 mm di diametro) Distanze di lavoro consentite [mm] - 1,2 mm (standard), altre opzioni su richiesta

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