I pannelli di controllo di pressione per i gas del semiconduttore dalla valvola di ritegno trattata (pneumatica) manuale della valvola a gas dell'eliminazione dei fogli inceppati della valvola del gas della valvola del gas di scarico di qualità 6.0 (EMO-) per impedire il gas trattato fluire nuovamente dentro la condotta di gas del puge manometro del contatto del disco di Burst del regolatore di pressione del Pre-filtro per il disco di burst che controlla il filtro della valvola di sfiato per la condotta di gas trattata particella-libera di processo dell'approvvigionamento di gas valvola di intercettazione della valvola di sfiato del sistema della valvola di intercettazione (pressione bassa) per il connettore tutto di vuoto della prova di tenuta o della prova di vuoto gas-hanno bagnato le parti fatte da acciaio inossidabile 1.4404 ESU così come Hastelloy C e PCTFE 100% elio-perdita-ha esaminato l'Assemblea nel codice categoria 100/10 del cleanroom
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