Macchina lucidatrice per ceramica FAM5 seriesdi lastreautomaticaad una faccia
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Caratteristiche
- Materiale lavorato
- per ceramica
- Applicazioni
- di lastre
- Altre caratteristiche
- automatica, ad una faccia, di precisione, meccanico-chimica
Descrizione
- Le macchine 50-SPAW e 59-SPAW di SpeedFam sono sistemi automatizzati di lucidatura meccanochimica su un solo lato per la lavorazione di wafer di silicio nudo. Trasportiamo automaticamente le piastre di montaggio in ceramica (caricate e scaricate con i wafer). Questi sistemi sono dotati di varie tecnologie avanzate come piastre di lucidatura a bassa espansione termica e camicie di raffreddamento, azionamento forzato indipendente e controllo della pressione di precisione per ogni vettore di processo.
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.