Il 20B-5P-4D è l'ultima specifica per la doppia lucidatura laterale delle cialde di 200mm o di 300mm. Con stabilità senza pari questo sistema mass-produces 15 ciascuno cialde di 200mm per il batch e 5 ciascuno cialde di 300mm per il batch. Ciò è il sistema ideale per alta planarità, automazione bassa di Nanotopography, mantenimento e costo della proprietà. Il 20B05P-4D risponde alle esigenze più severe di precisione e rotola-fuori.
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