Manifold multicanale BGMA
per gas

manifold multicanale
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Caratteristiche

Numero di vie
multicanale
Applicazioni
per gas

Descrizione

Il collettore del gas binario (BGMA) ha una conduttanza uguale ad ogni uscita per il flusso di gas più uniforme e il tempo di risposta di sputtering reattivo più veloce, indipendentemente dalla lunghezza del collettore. L'uniformità del flusso è verificata mediante analisi agli elementi finiti. Ha un design robusto e semplice e si pulisce facilmente. Caratteristiche Conduttanza uguale ad ogni uscita indipendentemente dalla lunghezza Segmentati per il gas principale e per i gas aggiuntivi Completo di ferramenta di montaggio e schermatura dei rifiuti Design robusto e semplice Vantaggi Massima uniformità Tempo di risposta rapida dello sputtering reattivo Durevole e facile da pulire

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