Il collettore del gas binario (BGMA) ha una conduttanza uguale ad ogni uscita per il flusso di gas più uniforme e il tempo di risposta di sputtering reattivo più veloce, indipendentemente dalla lunghezza del collettore.
L'uniformità del flusso è verificata mediante analisi agli elementi finiti.
Ha un design robusto e semplice e si pulisce facilmente.
Caratteristiche
Conduttanza uguale ad ogni uscita indipendentemente dalla lunghezza
Segmentati per il gas principale e per i gas aggiuntivi
Completo di ferramenta di montaggio e schermatura dei rifiuti
Design robusto e semplice
Vantaggi
Massima uniformità
Tempo di risposta rapida dello sputtering reattivo
Durevole e facile da pulire
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