I magneti SCI TRM-Bar™ e QRM-Bar™ offrono la flessibilità di cui avete bisogno. Forniti di magneti incapsulati, gli assemblaggi di magneti sono adattabili alle vostre esigenze di processo.
Le caratteristiche del sistema magnetico avanzato SCI includono:
Molteplici design magnetici per soddisfare le vostre esigenze applicative
Magnetismo avanzato progettato utilizzando un software di analisi ad elementi finiti 3D
Magneti ad alta resistenza accuratamente accoppiati, calibrati in fabbrica con uno strumento automatico di misura della barra magnetica
Magneti completamente incapsulati e costruzione robusta per molti anni di funzionamento senza problemi
Sistema a più rulli a lunga durata per sputtering su, sputtering giù o sputtering fuori angolo
La regolazione dell'uniformità magnetica può essere effettuata facilmente sul campo
Semplice procedura di installazione con soluzioni per installazioni verticali
Caratteristiche
TRM-Bar
Design collaudato dall'industria con migliaia di barre attualmente in funzione
Modo reattivo ad alto tasso di reattività o sputtering in modo metallico di pellicole di grado ottico
mQRM-Bar™
Il design a 4 file di magneti di piccole dimensioni aumenta la resistenza del 50% rispetto al TRM
Nessun campo frangia plasma-formante
Impedenza inferiore rispetto al TRM
Barra QRM
Magnetici più forti "patent pending" per lo sputtering a bassa impedenza di TCO e altre pellicole di grado elettrico
L'aumento dell'efficienza dello sputtering riduce il consumo di energia e i costi operativi
SRM80-Bar™ e TRM80-Bar™
Magneti ad alta resistenza a tenuta ermetica
Magnetismo avanzato progettato utilizzando un software di analisi agli elementi finiti 3D
I magneti sono abbinati in resistenza entro l'1%
Grande magnete, design a fila singola
Facilmente installabile in qualsiasi orientamento possibile
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