Sistema di monitoraggio dei gas PPM100

Il PPM100 è un controllore/monitor indipendente per gli analizzatori di gas residui SRS. Misura le pressioni parziali dagli SRS RGA e la pressione totale da un massimo di quattro manometri a capacità. L'uscita grafica è disponibile su un display LCD touch screen. Il PPM100 include capacità di controllo del processo a 8 canali, quattro porte I/O analogiche, interfacce per computer RS-232, USB e GPIB e un'interfaccia web. Analisi dei gas residui Il PPM100 è progettato per monitorare e controllare un singolo SRS RGA. Un'interfaccia utente guidata da menu consente all'operatore di programmare facilmente i parametri dell'RGA dal pannello frontale (non è necessario un PC host). I dati dell'RGA possono essere visualizzati come scansione analogica, pressione parziale rispetto al tempo, trend di perdita (con segnale audio) o letture di singole masse. Questi dati possono anche essere collegati ad allarmi, relè di controllo del processo e porte analogiche per il controllo ad anello chiuso di gas specifici. Schermata 1 I/O analogici Il PPM100 dispone di quattro porte I/O analogiche configurabili. Queste possono essere utilizzate come uscite per controllare apparecchiature ausiliarie per il vuoto come riscaldatori, attuatori, sorgenti di ioni, controllori logici programmabili e regolatori di accelerazione. Come ingressi, possono essere monitorati contemporaneamente fino a quattro manometri capacitivi. Registrazione dei dati I dati di tutti i manometri (e di tutti gli ingressi analogici) vengono memorizzati a una velocità definita dall'utente. Le applicazioni tipiche comprendono l'acquisizione delle curve di arresto o di sfiato delle pompe, il monitoraggio dei segnali del regolatore di flusso di massa durante i processi di deposizione e il monitoraggio delle temperature e di altre variabili dipendenti dal tempo durante le cotture o i trattamenti termici. Controllo di processo Il PPM100 dispone di otto relè con uscite TTL corrispondenti. Ogni canale può essere collegato a una specifica pressione parziale