- Vuoto: tutte le gamme HV fino a 10E-8 mbar
- Liquido di lubrificazione fino a 10E-8 mbar
- Temperatura max. Temperatura di cottura: 100°C
Configurabile opzionalmente:
- Disponibile nelle versioni magnetica e a bassa magnetizzazione
- Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione
- Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera
- Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta)
- Opzionale con controllore FMC400/450
Immagini dinamiche e di alta precisione
Questo stadio rotante compatto e piatto consente di ottenere risoluzioni estremamente elevate nel vuoto durante processi rapidi. Grazie all'ampia luce trasmessa di 79 mm, è possibile posizionare, misurare e analizzare con precisione anche campioni di grandi dimensioni. Può essere combinato in sofisticati sistemi multiasse e può essere facilmente controllato tramite i nostri controllori FMC 400/450.
Campi di applicazione
Microscopia dinamica e di alta precisione, ad esempio microscopio elettronico, microscopio ionico, microscopio elettronico a scansione, microscopio a scansione tunneling, strumentazione per linee di luce, sincrotrone, ricerca sui materiali, analisi dei materiali, ispezione dei wafer, controllo di qualità dei semiconduttori, ricerca sui semiconduttori
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