Piastra di posizionamento XY KDT600-EDLM

con motore lineare2 assidi alta precisione

Stadio di scansione con grande apertura Questo stadio xy di grande precisione è progettato per la massima ripetibilità. Le guide a rulli incrociati lucidati sono utilizzate per ottenere una ripetibilità di rettilineità e planarità di + -0,15 µm. Grazie all'ampia luce trasmessa, è possibile misurare anche substrati di grandi dimensioni da entrambi i lati o con la fluoroscopia. Il sistema offre anche l'opzione di misura differenziale per sfruttare l'intera precisione del sensore nelle applicazioni di misura. Anche quando lo stage è completamente spostato, viene sempre mantenuta un'apertura di almeno 60 mm x 60 mm. Applicazioni di scansione più veloci con elevata accelerazione Risultati di scansione estremamente rapidi grazie a una velocità di posizionamento di 330 mm/s Scansione di carichi elevati con una risoluzione estrema di 0,05 µm Ottimizzazione dei costi per ottenere prestazioni paragonabili a quelle dei sistemi a cuscinetto d'aria Funzionamento esente da manutenzione fino a 500.000 corse complete, dopo di che è necessaria solo una semplice rilubrificazione - Aspettativa di vita fino a due milioni di corse complete - gestione dei cavi integrata, terminale a innesto Campi di applicazione Applicazioni di scansione rapida e viaggi dinamici sul web, ad esempio ispezione di semiconduttori, sistemi di misura, ispezione ottica automatica (AOI), dispositivi di misura, misurazione differenziale, sostituzione di sistemi a cuscinetto d'aria