Rilevatore di ozono disciolto 470

a semiconduttoreindustrialeanalogico

Il modello 470 è un sensore di ozono disciolto all'avanguardia progettato per gli utensili a semiconduttore Wet Bench e molti altri processi industriali. Esso fornisce la misura continua dell'ozono disciolto in acqua deionizzata o in bagni solforici con concentrazioni fino a 150 mg/L. Il modello 470 è "clean-ready" per processi a semiconduttori ad alta purezza, ed è progettato per essere semplicemente giuntato in linea nell'anello di ricircolo di qualsiasi utensile da banco umido con portate fino a 150 SLPM Il sensore modello 470 incorpora un'innovativa tecnologia di rilevamento del campione a doppio percorso ottico per fornire prestazioni ineguagliabili ed eliminare virtualmente la necessità di una misura di liquido di riferimento Un'installazione tipica è costituita dal sensore 470 e da un cavo di interconnessione con guaina in Teflon 7. Il sensore 470 include la possibilità di segnalare a distanza la concentrazione che viene misurata tramite segnali analogici o digitali alla console del banco umido Caratteristiche - Monitoraggio in situ - In linea, capacità di flusso completo - Percorso di flusso rettilineo - Nessuna parte mobile - Nessun materiale di consumo - Gamme fino a 150 mg/L - Taratura dello zero a distanza - Metodo di assorbimento UV ad alta precisione - Tecnica di rilevamento del campione a doppio percorso ottico - Non è richiesta alcuna manutenzione regolare - Materiali umidi a semiconduttore - Custodia compatta in FRPP - Cavo di interconnessione con guaina in teflon7-jacketed