Sistema di regolazione di gas SCI-552

L'SCI-552 è un controllore di sistema per sistemi di distribuzione dell'ozono che fornisce interfacce di controllo elettronico per una serie di componenti tipici del sistema, tra cui: generatori di ozono, valvole EV, regolatori di flusso di massa, regolatori di contropressione, sensori di ozono Teledyne API 452, sensori di ozono disciolto Teledyne API 470 e un refrigeratore d'acqua. L'SCI-552 è dotato di supporto hardware e software per una serie di funzioni di interblocco del sistema. L'SCI-552 offre flessibilità all'utente finale, consentendo il controllo del sistema attraverso l'interfaccia utente del pannello frontale, l'interfaccia seriale MODBUS o vari punti di I/O digitali ed analogici discreti. L'SCI-552 è progettato per supportare due generatori di ozono che forniscono due canali indipendenti di uscita dell'ozono. Caratteristiche - Supporto remoto RS-232 MODBUS - Controllo fino a 2 generatori di ozono - Interfaccia con un massimo di 2 sensori di ozono modello 452 e modello 470 - Controllo fino a 4 regolatori di flusso di massa - Controllo fino a 2 regolatori di contropressione - Controllo fino a 2 valvole EV - Controllo di un refrigeratore d'acqua - Ingressi di interblocco del sistema - Controlli remoti a livello di sistema e I/O di stato Applicazioni Deposizione di vapori chimici (CVD) - Deposizione dello strato atomico (ALD) - Crescita dell'ossido - Condizionamento delle superfici - Incenerimento - Pulizia delle particelle - Rimozione del fotoresist - Altri