Sensore di gas di CO OPTI-Sense CO2per semiconduttoreNDIR
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Caratteristiche
- Tipo di gas
- di CO, CO2
- Tecnologia
- per semiconduttore, NDIR, a infrarossi
Descrizione
La serie di sensori OPTI-Sense si basa sulla tecnologia ad infrarossi non dispersivi (NDIR). Essi sono progettati per
misurare l'assorbanza nello spettro dell'infrarosso dei gas speciali tipicamente presenti nelle applicazioni dei semiconduttori. Essi sono
molto compatto e progettato senza parti in movimento, rende l'OPTI-Sense robusto e ideale per il monitoraggio continuo in situ dei gas nei processi dei semiconduttori.
La diagnostica integrata è inclusa nel software incorporato. Tutti i sensori OPTI-Sense sono configurati con sensori analogici e digitali
interfacce, rendendole facilmente integrabili in qualsiasi processo.
Caratteristiche
- NDIR Infrarossi non dispersivi
- Ideale per qualsiasi gas che assorbe gli infrarossi (SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 e altre specie)
- Tempo di risposta rapido
- Elevata sensibilità
- Specie specifiche
- Nessun materiale di consumo
- Nessuna parte mobile
- Software GUI LabView (opzionale)
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Cataloghi
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.