Le tecniche di flusso di massa forniscono misurazioni affidabili, ripetibili e precise della portata del gas.
Gli strumenti di flusso di massa HFM-D-300A / HFC-D-302A hanno intervalli di flusso da 0-5 sccm a 0-25 slm; utilizzano tutte le guarnizioni in metallo, forniscono uscite analogiche e digitali e sono costruiti in acciaio inossidabile. Sono disponibili comunicazioni digitali semplici e facili da usare con un'interfaccia software basata su Windows.
L'autodiagnosi del sensore, della valvola e del trabocco sono inclusi nelle caratteristiche digitali. Interessante è anche la funzione di auto zero che rileva quando la valvola è chiusa e azzera automaticamente lo zero. Questi misuratori e regolatori di portata massica possono memorizzare fino a 10 calibrazioni di diverse gamme e gas. Un'altra caratteristica è il totalizzatore incorporato per il monitoraggio del consumo di gas nelle condizioni impostate dall'utente.
Test di tenuta
Deposizione di film sottile
Consegna di gas ad alta purezza
Spruzzo di fiamma termica
Miscelazione di gas
processo farmaceutico
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