Misuratore di vuoto di Pirani HPM 2002

piezoresistivocon display LEDcompatto

Il pluripremiato vacuometro della serie 2002, ad ampio raggio e a doppio sensore, è disponibile in due stili di montaggio, a pannello o a sensore. L'HPM-2002, vacuometro a doppio sensore, è uno strumento a pannello con unità di visualizzazione a microprocessore, tubo di misura e cavo di interconnessione. I due elementi di rilevamento (Pirani microlavorato e sensore piezoresistivo) forniscono una misura accurata del vuoto su 7 decadi di pressione da 1 X 10-4 a 1000 Torr. Un algoritmo residente nel microprocessore assicura una transizione senza soluzione di continuità tra i due sensori. l'HPM-2002-OBE, misuratore di vuoto a doppio sensore, è una versione del misuratore montata sul sistema. L'HPM-2002-OBE offre tutte le caratteristiche prestazionali della Serie 2002 in una configurazione compatta, con la possibilità di scegliere tra 12 opzioni di uscita del segnale. Applicazioni Etch di semiconduttori Camera di sputtering Sistemi di blocco del carico Controllo e test di processo Rivestimento al plasma