L'ossido di etilene è un agente sterilizzante molto efficiente. È un battericida, uno sporicida e un viricida. Ha un coefficiente di diffusione molto favorevole e può essere utilizzato per materiali termosensibili o molto delicati.
Generalmente la sterilizzazione con ossido di etilene nell'industria farmaceutica è stata limitata a causa del rischio che comporta per le sue elevate proprietà mutagene e cancerogene. Le GMP specificano che questo tipo di sterilizzazione deve essere utilizzato solo quando non esiste una tecnologia di sterilizzazione alternativa.
Tuttavia, i vantaggi della sterilizzazione con ossido di etilene sono ancora maggiori di quelli di qualsiasi altro sistema nel settore dei prodotti monouso ospedalieri. Le aziende leader in questo settore si affidano ancora all'ossido di etilene per la sterilizzazione terminale di siringhe, sonde, cateteri, pace maker, ecc. Il design complesso di questi tipi di dispositivi medici rende la penetrabilità dell'agente sterilizzante uno degli aspetti più critici. È in questo campo che l'ossido di etilene è di gran lunga superiore a qualsiasi alternativa: perossido di idrogeno, acido peracetico, ecc.
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