Sistema ammortizzatore attivo Stage-Base 450

per l'industria dei semiconduttori

TMC continua ad applicare la tecnologia in continua evoluzione per sviluppare nuove soluzioni ai difficili requisiti che gli strumenti per semiconduttori pongono ai loro sistemi di isolamento delle vibrazioni. Stage-Base 450 è stato progettato specificamente per essere il principale sistema di cancellazione delle vibrazioni per gli strumenti avanzati per semiconduttori che incorporano stadi X-Y motorizzati ad alta precisione. Se da un lato questi strumenti richiedono una cancellazione delle vibrazioni estremamente efficiente, dall'altro è altrettanto importante che il movimento del carico utile indotto dallo stadio si assesti molto rapidamente per massimizzare la produttività dello strumento. Con l'aggiunta del VCM con controllo feed-forward per un tempo di assestamento ancora più rapido e un ulteriore aumento della produttività, il risultato è il più avanzato sistema di cancellazione attiva delle vibrazioni e del movimento per applicazioni con stadi mobili. Il vantaggio dello Stage-Base Stage-Base 450 è la nuova generazione di sistemi attivi di cancellazione delle vibrazioni piezoelettrici a montaggio fisso che integrano la tecnologia delle bobine vocali. Solo TMC è in grado di offrire questa esclusiva tecnologia di tipo seriale per la cancellazione avanzata delle vibrazioni a bassa frequenza con motori a bobina mobile (VCM) per una cancellazione aggressiva del movimento del palco mobile. Il sistema di controllo attivo Stage-Base 450 di nuova generazione incorpora la tecnologia STACIS di TMC per ottenere una cancellazione estrema delle vibrazioni utilizzando attuatori piezoelettrici e una sospensione rigida in un'architettura di tipo seriale. Il risultato è un isolamento dalle vibrazioni del pavimento a partire da 0,6 Hz che non ha eguali nel settore, con una deflessione iniziale significativamente inferiore in risposta alle forze del palco. - Incorpora l'esclusiva tecnologia STACIS - Impiega attuatori piezoelettrici ad alta forza e corsa estesa - Ripetibilità della posizione del carico utile entro il micron - Design montabile su telaio - 6 gradi di libertà attivi