Il microscopio di modello della forza elettrostatica 1100TN di viaggio (EFM) permette alle misure di distribuzione di tensione con una risoluzione spaziale molto alta migliore di 10μm che è ben oltre la capacità dei voltometri elettrostatici tipici. Il EFM del viaggio può anche misurare la distribuzione di tensione attraverso un'area molto più grande rispetto ad un microscopio d'esplorazione della sonda una volta funzionato nelle condizioni atmosferiche. Il EFM del viaggio impiega una tensione di risposte al rivelatore che è uguale alla tensione misurata che impedisce così l'effetto ad arco fra il rivelatore e la superficie nell'ambito della prova.
Specifiche chiave
Gamma di tensione: ±1 chilovolt
Sensibilità di tensione:
Accuratezza: Migliore di 0,5% di completo
Migliore di 100 sistemi MV
Punto incrementale: 1 µm, minimo (rivelatore)
Punta del rivelatore: 5 µm del µm X 5
Area di misura: 5 millimetri X 5 millimetri
Le applicazioni tipiche includono
Misura delle borse antistatiche, wafer di si
Prova di materiale di elettrofotografia
Valutazione fotovoltaica dei materiali
Prova di MEMS
Caratteristiche e benefici
Può essere utilizzato negli stati dell'atmosfera
La risoluzione spaziale è migliore del μm 10
Tre modi di misura:
- Elettricità statica
- Linea profilo
- tracciare 3D
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